美國API激光干涉儀測量機床全部誤差所用的時間越短,越能夠反映所測機床的真實情況。當用傳統干涉儀測量時,因在測量各項指標時更換光學鏡調整光路上要浪費大量的時間,難以保證機床檢測數據的穩定性和重復再現性。
XD 系列激光干涉儀約在 2000 年進入中國市場,結合激光干涉技術和光電自準直技術,不僅可用于精度的最終評價,也可用于機床的安裝調整。美國API激光干涉儀XD Laser 激光干涉儀是 API 公司的產品,一次安裝即可以測得 6 個參數,包括 1 個位置度誤差、2 個直線度誤差和 3 個角度誤差。通常時間需數天進行的測試,使用 API 激光干涉儀只需幾個小時即可完成。實際應用結果表明:可節省時間高達 80%。
API 公司 XD 系列激光干涉儀型號如下:
一維測量系統
XD–1D 標準型
XD–1D 精密型
三維測量系統:XD–3D
五維測量系統
XD–5D 標準型
XD–5D 精密型
六維測量系統
XD–6D 標準型
XD–6D 精密型